微細加工装置･薄膜作製装置

電子線（EB）描画装置

集束イオンビーム加工装置（FIB）

ECRイオンシャワー加工装置

マスクアライナ

金属蒸着装置

RFマグネトロンスパッタ装置

ダイシングソー

結晶基板研磨装置