トポグラフィとの同時計測

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分極分布を計測すると同時に，試料表面の凹凸を表すトポグラフィを計測できると，多面的な評価が可能になります．

そこで，ナノメータのスケールで表面のトポグラフィを計測できる，原子間力顕微鏡(AFM ： Atomic Force Microscope) を用いて，SNDMとAFMの同時計測が可能なシステムを作製しました．

プローブのニードルの部分に，AFMのカンチレバーを用いました．

SNDMのプローブに，AFMのカンチレバー取り付けました．ステージ系は，AFMのものを用いています．SNDMの測定信号とAFMの測定信号を同時にコンピュータに取り込むことで，同時計測が可能になります．

PZT薄膜の同時計測

代表的な圧電材料であるPZTを計測してみました｡試料表面の凹凸と分極分布が同時に計測することが可能であることが確認できます｡