薄膜の極性判別
- 誘電ナノデバイス研究分野
- 研究紹介
- SNDM - 薄膜の極性判別
SNDMを使うと薄膜の極性が非破壊で，容易にわかります．
非圧電体上に成膜したZnOの極性を調べた例です．
基板が強い極性をもつ材料であると，極性判別はなおさら困難です．
しかし，SNDMはその場合でも大丈夫です．
なぜなら，SNDMはプローブの半径を小さくすると，極表面の情報のみ計測できるからです．
例えば，次のようなサンプルを測定した結果を見ればわかります．
基板のLiTaO3はZnOと比べてとても大きな極性を有する材料です．
SNDMでは次のようにZnOの極性が計れています．
いくつかの測定例を示します．
