PZT薄膜のa-c ドメイン境界を計測しました。高分解能にドメイン境界を計測していることが分かります。
こちらはPZT薄膜に分極反転電圧を印加し、その微小エリアをスキャンしたものです｡ｃ-ｃドメイン境界の幅が最小で1.87ｎｍであることが確認され、分解能はそれ以上であるといえます｡
こちらはPZT薄膜のさらに微小な領域を拡大して計測したものです。SNDMはサブナノメータの分解能を有している事がわかります。
分解能は、試料の誘電率に大きく依存します。
ε=1000の場合、針先半径の約0.01倍の分解能があります。AFMの探針のように、半径10nm程度の場合、0.1ナノメートルの分解能があることになります。
よって、SNDMは原子スケールの分解能を有している可能性が高く、現在実験中です。
