誘電ナノデバイス研究室で保有している主な研究設備
走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）とその関連装置
- 超高真空型原子分解能SNDM
- 環境制御型SNDM
- 磁場印加型SNDM
- SNDM強誘電ナノドメインエンジニアリング・システム
- 強誘電体プローブデータストレージ・システム
分析装置・計測装置
- 走査型電子顕微鏡（SEM）
- X線回折装置（XRD）
- 原子間力顕微鏡（AFM）
- 走査型トンネル顕微鏡（STM）
- 強誘電体ヒステリシス測定装置
- ネットワークアナライザ
- 反射分光膜厚計
- 接触段差計
- 共焦点レーザー顕微鏡
微細加工装置・薄膜作製装置
- 電子線（EB）描画装置
- 集束イオンビーム加工装置（FIB）
- ECRイオンシャワー加工装置
- マスクアライナ
- 金属蒸着装置
- RFマグネトロンスパッタ装置
- ダイシングソー
- 結晶基板研磨装置
工作機械
